据最新媒体报道,价格高达19亿元,堪称当今世界最贵的电子设备。是NA 0.55高数值孔径EUV光刻机的价格,由全球最大的光刻机供应商ASML首创,买家是英特尔。
目前在NA 0.33的EUV掩膜版对准器中,英特尔动作缓慢,被TSMC和三星抢占。因此,在NA 0.55的下一代EUV光刻工艺中,英特尔不允许同样的错误再次发生。这一次如果要抢占三星TSMC下单,也将抢占20A、18A工艺的量产,首次进入艾美奖工艺节点。
基于此,在过去的四年里,英特尔实际上已经订购了六个NA为0.55的EUV掩模对准器,分为两种类型。Twinscan Exe:5000系列主要用于工艺研发,输出能力为185瓦时,每小时生产185片晶圆,将于2023年上半年交付。
量产的NA 0.55掩膜版对准器为Twinscan Exe:5200,产能为200WPH,每小时200片晶圆,预计2024年下线。